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1000T/Y三フッ化窒素プロジェクト(特殊ガス純度99.996%)
年产1000吨三氟化氮项⽬(特⽓⾏业纯度99.996%) 三氟化氮(窒素三フッ化物)、化学式NF3は、⼤きな⽤酸化剤である。在微電⼦⼯业中,三氟化氮是⼀种良的等离⼦刻⽓体,在半导体芯⽚,平板显⽰器、光纤、光伏电池等制造领域、三氟化氮主要⽤作品等离⼦蚀刻⽓体...
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